വിവരണം
സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ ഇങ്കോട്ട്is സാധാരണയായി വളർന്നു കൃത്യമായ ഡോപ്പിംഗും വലിക്കുന്ന സാങ്കേതികവിദ്യയും ഉപയോഗിച്ച് ഒരു വലിയ സിലിണ്ടർ ഇൻഗോട്ടായി Czochralski CZ, കാന്തികക്ഷേത്രം പ്രേരിപ്പിച്ച Czochralski MCZ, ഫ്ലോട്ടിംഗ് സോൺ FZ രീതികൾ.അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്നതിന് ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന 300 മില്ലിമീറ്റർ വരെ വ്യാസമുള്ള വലിയ സിലിണ്ടർ ഇൻഗോട്ടുകളുടെ സിലിക്കൺ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്ക് CZ രീതിയാണ് ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്.MCZ രീതി CZ രീതിയുടെ ഒരു വ്യതിയാനമാണ്, അതിൽ ഒരു വൈദ്യുതകാന്തികം സൃഷ്ടിക്കുന്ന കാന്തികക്ഷേത്രം, താരതമ്യേന കുറഞ്ഞ ഓക്സിജൻ സാന്ദ്രത, കുറഞ്ഞ അശുദ്ധി സാന്ദ്രത, താഴ്ന്ന സ്ഥാനചലനം, ഏകീകൃത പ്രതിരോധശേഷി വ്യതിയാനം എന്നിവ കൈവരിക്കാൻ കഴിയും.FZ രീതി 1000 Ω-cm-ന് മുകളിലുള്ള ഉയർന്ന പ്രതിരോധശേഷിയും കുറഞ്ഞ ഓക്സിജന്റെ ഉള്ളടക്കമുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ക്രിസ്റ്റലും കൈവരിക്കാൻ സഹായിക്കുന്നു.
ഡെലിവറി
വെസ്റ്റേൺ മിൻമെറ്റൽസ് (SC) കോർപ്പറേഷനിൽ n-ടൈപ്പ് അല്ലെങ്കിൽ p-ടൈപ്പ് ചാലകതയുള്ള സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ Ingot CZ, MCZ, FZ അല്ലെങ്കിൽ FZ NTD 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm വ്യാസമുള്ള (2, 3) വലുപ്പത്തിൽ വിതരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും. , 4, 6, 8 ഇഞ്ച്), ഓറിയന്റേഷൻ <100>, <110>, <111> ഉപരിതലത്തിൽ പ്ലാസ്റ്റിക് ബാഗ് പൊതിയിൽ പൊതിഞ്ഞ്, പുറത്ത് കാർട്ടൺ ബോക്സ് ഉപയോഗിച്ച് അല്ലെങ്കിൽ കസ്റ്റമൈസ് ചെയ്ത സ്പെസിഫിക്കേഷൻ പ്രകാരം മികച്ച പരിഹാരം.
.
സാങ്കേതിക സ്പെസിഫിക്കേഷൻ
സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ ഇൻഗോട്ട് CZ, MCZ, FZ അല്ലെങ്കിൽ FZ NTDവെസ്റ്റേൺ മിനിമെറ്റൽസ് (SC) കോർപ്പറേഷനിൽ n-ടൈപ്പ് അല്ലെങ്കിൽ p-ടൈപ്പ് ചാലകത ഉപയോഗിച്ച് 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm വ്യാസമുള്ള (2, 3, 4, 6, 8 ഇഞ്ച്) ഓറിയന്റേഷൻ <100 >, <110>, <111> പുറത്ത് കാർട്ടൺ ബോക്സ് ഉള്ള പ്ലാസ്റ്റിക് ബാഗിന്റെ പൊതിയിൽ ഉപരിതലം ഗ്രൗണ്ട് ചെയ്തിരിക്കുന്നു, അല്ലെങ്കിൽ മികച്ച പരിഹാരത്തിലെത്താൻ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയ സ്പെസിഫിക്കേഷൻ.
ഇല്ല. | ഇനങ്ങൾ | സ്റ്റാൻഡേർഡ് സ്പെസിഫിക്കേഷൻ | |
1 | വലിപ്പം | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9.5", 10", 12" | |
2 | വ്യാസം എം.എം | 50.8-241.3, അല്ലെങ്കിൽ ആവശ്യാനുസരണം | |
3 | വളർച്ചാ രീതി | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | ചാലകത തരം | പി-ടൈപ്പ് / ബോറോൺ ഡോപ്ഡ്, എൻ-ടൈപ്പ് / ഫോസ്ഫൈഡ് ഡോപ്ഡ് അല്ലെങ്കിൽ അൺ-ഡോപ്പ്ഡ് | |
5 | നീളം എം.എം | ≥180 അല്ലെങ്കിൽ ആവശ്യാനുസരണം | |
6 | ഓറിയന്റേഷൻ | <100>, <110>, <111> | |
7 | പ്രതിരോധശേഷി Ω-സെ.മീ | ആവശ്യപ്പെട്ടിരിക്കുന്നത് പോലെ | |
8 | കാർബൺ ഉള്ളടക്കം a/cm3 | ≤5E16 അല്ലെങ്കിൽ ആവശ്യാനുസരണം | |
9 | ഓക്സിജൻ ഉള്ളടക്കം a/cm3 | ≤1E18 അല്ലെങ്കിൽ ആവശ്യാനുസരണം | |
10 | ലോഹ മലിനീകരണം a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) അല്ലെങ്കിൽ <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | പാക്കിംഗ് | അകത്ത് പ്ലാസ്റ്റിക് ബാഗ്, പുറത്ത് പ്ലൈവുഡ് കേസ് അല്ലെങ്കിൽ കാർട്ടൺ ബോക്സ്. |
ചിഹ്നം | Si |
ആറ്റോമിക് നമ്പർ | 14 |
ആറ്റോമിക് ഭാരം | 28.09 |
എലമെന്റ് വിഭാഗം | മെറ്റലോയ്ഡ് |
ഗ്രൂപ്പ്, കാലയളവ്, ബ്ലോക്ക് | 14, 3, പി |
ക്രിസ്റ്റൽ ഘടന | ഡയമണ്ട് |
നിറം | ഇരുണ്ട ചാരനിറം |
ദ്രവണാങ്കം | 1414°C, 1687.15 K |
തിളനില | 3265°C, 3538.15 K |
സാന്ദ്രത 300K | 2.329 ഗ്രാം/സെ.മീ3 |
ആന്തരിക പ്രതിരോധശേഷി | 3.2E5 Ω-സെ.മീ |
CAS നമ്പർ | 7440-21-3 |
ഇസി നമ്പർ | 231-130-8 |
സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ ഇങ്കോട്ട്, പൂർണ്ണമായി വളർന്ന് അതിന്റെ പ്രതിരോധശേഷി, അശുദ്ധി ഉള്ളടക്കം, ക്രിസ്റ്റൽ പെർഫെക്ഷൻ, വലിപ്പം, ഭാരം എന്നിവയെ അടിസ്ഥാനമാക്കി, ഡയമണ്ട് വീലുകൾ ഉപയോഗിച്ച് വലത് വ്യാസമുള്ള ഒരു സിലിണ്ടറാക്കി മാറ്റുന്നു, തുടർന്ന് ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ അവശേഷിക്കുന്ന മെക്കാനിക്കൽ വൈകല്യങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയ്ക്ക് വിധേയമാകുന്നു. .അതിനുശേഷം, സിലിണ്ടർ കഷണം നിശ്ചിത നീളമുള്ള ബ്ലോക്കുകളായി മുറിക്കുന്നു, കൂടാതെ താഴത്തെ വേഫർ സ്ലൈസിംഗ് പ്രക്രിയയ്ക്ക് മുമ്പായി ക്രിസ്റ്റലോഗ്രാഫിക് ഓറിയന്റേഷനും ചാലകതയും തിരിച്ചറിയുന്നതിന് വിന്യാസത്തിനായി ഓട്ടോമേറ്റഡ് വേഫർ ഹാൻഡ്ലിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ വഴി നോച്ചും പ്രൈമറി അല്ലെങ്കിൽ സെക്കൻഡറി ഫ്ലാറ്റും നൽകുന്നു.
സംഭരണ നുറുങ്ങുകൾ
സിംഗിൾ ക്രിസ്റ്റൽ സിലിക്കൺ ഇങ്കോട്ട്